半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

BLO

バッチ式リフトオフ装置

リフトオフプロセス史上最も早く、
最もマルチなバッチ式装置。

BLO 製品写真

25枚同時処理による生産力アップを実現しながら独自の剥離システムを採用し安定した剥離処理性能を維持。剥離残り、スラッジの再付着などのあらゆる懸念を豊富なオプション機能で完全カバー。

特長

リフトオフ剥離力 膨潤、揺動、超音波に加え、ダウンフローのパワーを利用し短時間での剥離を実現
再付着防止 ダウンフロー、サイドジェットでスラッジやポリマーを徹底除去
超音波照射システム 独自開発の多軸駆動可能な超音波システムにより、バッチ間のムラを改善

対応プロセス

リフトオフ/レジスト剥離/ポリマー除去