BSP
ブラシスクラブプロセッサ
表面処理、両面処理ともに対応可能な、
マルチサイズウエーハ対応のシングルブラシスクラブプロセッサー。
ロールブラシによる両面処理と2流体処理に対応。
異径ウエーハ(4インチ/6インチ、6インチ/8インチ)も段取り替えなしでの処理を実現。MEMS、LED分野でのウエーハ投入前のパーティクル除去にも適用可能。
特長
| スクラブ部でのコンタミ抑制 | L/Dとスクラブユニットを2ライン構成にすることでプロセス区別で洗浄しコンタミを抑制 |
|---|---|
| フレキシブルなブラシチョイス | PVAブラシの他にウレタンブラシ等へも対応可能。異径ウエーハ処理可能 |
| 異径ウエーハへの対応 | 4インチ/6インチ、6インチ/8インチのウエーハサイズ切り替えに段取り替えなしで対応 |
| 両面同時洗浄によるハイスループット | 表裏面同時洗浄に対応することで従来のスクラブ洗浄機よりスループット向上 |
| 多様なプロセス選択 | スピンユニットでは二流体JET、メガソニックなどのオプション対応が充実 |
対応プロセス
パーティクル除去・CMP後スラリー除去