KJ(カセットレス)
KJ(カセットレス)
カセットレス対応による安定した洗浄を長所としたバッチ式洗浄装置。
長年培った経験をベースに、常に進化し続けるカセットレス対応のバッチ式装置。世界トップクラスの緻密さと強靭さを兼ね備え、先端デバイスの製造に貢献。
特長
| ハイスループット | ウエーハの受け渡し槽を選択可能にすることによる効率的な槽間移動で搬送律速によるスループット低下を防止 |
|---|---|
| 卓越したプロセス性能 | 温度、濃度、流量等のプロセス性能に係る要素を徹底分析し安定したパフォーマンスを実現 |
| 省フットプリント | 片側アクセス及び各処理槽への独立リフター搬送機の採用によりスペースを削減 |
対応プロセス
RCA洗浄・窒化膜除去・酸化膜除去・ポリマー除去・レジスト剥離