半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

MLO

MLO

バッチと枚葉を組み合わせた
次世代ハイブリッド型リフトオフ装置

MLO 製品写真

バッチと枚葉両方の利点を生かしながらプロセスタイムの管理精度を大幅にアップ。
水平多関節ロボットの採用と独自の装置構成により搬送ミスを低減。

特長

高い処理能力 従来の1.3倍のスループットを実現
浸漬(ディッピング)時間の安定化による品質UP 独自の浸漬時間管理方法により、品質のばらつきを低減
低消費量のフラッシュ処理 効率の良い噴射システムで薬液使用量を削減
薬液回収率90%以上 環境に配慮した構造
セパレートルーム設計 チャンバー間のコンタミ問題もしっかり対策

対応プロセス

リフトオフ/レジスト剥離/ポリマー除去