半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

SLO

枚葉リフトオフ装置

ウエーハを浸漬(ディッピング)しながら剥離処理する枚葉式リフトオフ装置。

SLO 製品写真

膨潤と揺動の組み合わせで剥離力を向上。
槽内をダウンフローにすることで確実にスラッジを追い出し、槽内の滞留を防ぐことにより再付着を防止。高効率なスラッジ回収方式により循環ラインの薬液とスラッジを完全分離。

特長

歩留まり向上 垂直浸漬・水平スピンでリフトオフ性能の安定化
ハイスループット 処理槽配置と搬送機構の最適化で実現
スラッジ除去性向上 遠心分離スラッジ回収方式採用
精密仕上げ洗浄機構 3種類のノズルシステムに対応(二流体JET・メガソニックハイプレッシャー)
薄ウエーハ対応 薄ウエーハをバックアップするサポート機構

対応プロセス

リフトオフ/レジスト剥離/ポリマー除去