半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

ウエーハ乾燥機

スピンドライヤー

最先端プロセスで培った洗浄装置製造ノウハウを洗浄プロセスパーツにフィードバック

ウエーハ乾燥機 製品写真

スピン乾燥で懸念されるウエーハの割れやパターン倒壊を、独自開発のウエーハダメージレスシステムで極限まで解消。
ワークサイズは3インチから8インチ、厚みは150㎛から725㎛まで幅広く対応。
オプションでオートバランサー制御による短時間での乾燥処理も可能に。

特長

豊富なバリエーション ウエーハサイズに幅広く対応しており、マニュアルタイプ、インラインタイプの選択も可能
コンタミネーション対策 軸受部に特殊シール構造を採用し、摺動部のコンタミネーション混入を防止
ウエーハストレスの低減 割れやすいウエーハへのストレスを低減できるダメージレスシステムを開発(オプション対応)