半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

ZEN

枚葉式マルチプロセッサ

多彩なチャンバー形態で、
様々なプロセスニーズに対応出来るシングルプロセッサー。

ZEN 枚葉式マルチプロセッサ 製品写真

高濃度オゾン、高温硫酸対応により硬化レジストにも安定した剥離対応が可能。
超音波、二流体、高圧JETなど豊富な処理レパートリーからの選択で、用途に合わせた処理を実現。MEMS、半導体、LED、太陽電池等あらゆる分野のプロセスニーズに対応。

特長

マルチプロセス 多薬液の回収・リユース処理が可能
モジュール構造 各チャンバーモジュール対応で最大8チャンバー搭載可能
ランニングコストの大幅削減 従来のレジスト剥離処理コストの1/16まで削減

対応プロセス

パーティクル除去、レジスト剥離、リフトオフ、ポリマー除去