半導体洗浄装置MEMS洗浄装置

CLO

カップ式枚葉リフトオフ装置

安定性と剥離力を兼ね備えたシングルリフトオフプロセッサー。

CLO 製品写真

枚葉式でありながらウエーハを完全に液中浸漬(ディッピング)し、従来の枚葉で実現しえなかった液温安定性、超音波の装着性や超音波効率を確保し、リフトオフ効率を大幅に向上。

特長

特殊チャンバー形状 カップ方式により膨潤、スピンを実現
精密仕上げ洗浄 フラッシュスプレーにて、ダメージレスかつ精密仕上げ
再付着防止対応 遠心力を利用した排液システムを採用

対応プロセス

リフトオフ/レジスト剥離/ポリマー除去/パーティクル除去