CLO
カップ式枚葉リフトオフ装置
安定性と剥離力を兼ね備えたシングルリフトオフプロセッサー。
枚葉式でありながらウエーハを完全に液中浸漬（ディッピング）し、従来の枚葉で実現しえなかった液温安定性、超音波の装着性や超音波効率を確保し、リフトオフ効率を大幅に向上。
特長
| 特殊チャンバー形状 | カップ方式により膨潤、スピンを実現 |
|---|---|
| 精密仕上げ洗浄 | フラッシュスプレーにて、ダメージレスかつ精密仕上げ |
| 再付着防止対応 | 遠心力を利用した排液システムを採用 |
対応プロセス
リフトオフ・レジスト剥離・ポリマー除去・パーティクル除去