HFE
微細パターン洗浄
独自の薬液リサイクルシステムによりランニングコストを低減したバッチ式洗浄装置。
揮発性が高く表面張力が低いHFE（ハイドロフルオロエーテル）を使用することで微細パターンのステッキングや倒壊、高アスペクト比パターンの洗浄不良を抑制。
独自の薬液リサイクル機構によりランニングコストの低減を実現。
安全と環境にも寄与した次世代の洗浄装置。
特長
| 高アスペクト比パターン対応 | 微細パターン間にも液がスムーズに入り込み、ポリマーを除去 |
|---|---|
| 構造体のステクションを低減 | 独自プロセスによる薬液の有効利用でパターン倒壊の懸念を払拭 |
| 薬液消費量の削減 | 独自の薬液リサイクル方法でランニングコストの低減に寄与 |
対応プロセス
ポリマー除去・構造体乾燥